孫東催促好趁光刻工具未禁運快撥款 財委會速過28億

（獨媒報導）雖然內地有頂級技師可以磨研「5奈米」的粗糙度，不過在生產晶片技術的關鍵光刻工具，仍要靠外國入口。立法會財委會今午討論斥資28.3億元設立「香港微電子研發院」，主攻研發第三代半導體，「中試線」設備包括光刻工具。實政圓桌田北辰關注美國大選會否影響光刻機出口，創科局長孫東表示第三代半導體的「I線光刻工具」不在外國禁運名單，多次強調撥款「時間要快！」結果僅討論84分鐘，財委會就以不記名方式，舉手通過撥款。

全球半導體超過九成市場是第一代和第二代半導體，在中美「新冷戰」格局下，中國尋求在第三代半導體技術取得突破，當中化合物半導體碳化矽（SiC）和氮化鎵（GaN）可應用於光達、車用二極體、5G、衛星通訊功率放大器、摩打控制器、風力發電等電力控制系統。

元朗設「中試線」投產

創新及創技局向財委會申請28.3億元設立的「香港微電子研發院」，專攻第三代半導體，設立4個研發小組，專責第三代半導體的工序技術、設計及應用、封裝和組件，以及品質檢定。研發院將僱用200名員工，並在元朗設立「中試線」，目標在明年底完成完成設置。

當局提交財委會的文件顯示，約24.7億元開支將會用於購置生產SiC和GaN的設備，8吋半體的生產線所需的器材清單包括「I線光刻工具」、光阻開發及檢查工具、高溫離子注入機、高溫退火爐、薄膜工具等。

實政圓桌田北辰

田北辰擔心美國視「香港為中國一部分」施禁運

田北辰關注云云高級儀器中，是否涉及「光刻機」，他擔心有零件被「外國打壓」，又擔心美國在大選前「畀美國搞，唔畀賣畀香港，話香港係中國一部分呢樣嗰樣」，他表示當局要確保「開到檔」。

創科局局長孫東指，重點研發第三代半導體的原因，正正是不需要光刻機，其他置備不在美國和相關國家的禁運名單內，他催促財委會「盡快撥款，盡快購買」，他強調生產線的其他關鍵原材料都沒有被「卡脖子（廣東話意思：捉住要害）」，他反覆強調「時間要快！」

創科局局長孫東

創科組特別職務組長：大選後有咩事，唔敢講

負責「特別職務」的創新科技署組長陳正豪補充，提供「I線光刻工具」的3間供應商，暫時都沒有向香港禁運儀哭，「將來大選後有咩事，唔敢講」。孫東確認內地沒有生產「I線光刻工具」，其他零件均有國產，他稱「時間站在中國這邊」，相信不久後會出覝中國製光刻機。

經民聯主席盧偉國問及發展第三代半導體原因，陳正豪表示以往半導體追求愈細愈好，但第三代半導體支持再生能源，講求能源轉換效率和物料，「唔使好精密線條」，他又指相關技術和產業鏈在內地都齊備。